第40届IEEE微机电系统国际会议（IEEE MEMS 2027）

IEEE MEMS（IEEE 微机电系统国际会议）是微机电系统与微系统技术领域的国际学术会议，本届为第40届，聚焦 MEMS 及相关技术的研究成果、技术进展与产业趋势。

会议征文与交流方向涵盖设计与仿真分析工具及实验验证、制造工艺与流程、硅与非硅材料、机电集成技术、封装与组装方法，以及计量与运行评估技术等制造与表征环节。

应用方向包括机械、热与磁传感器和执行器及系统，光机电微器件与微系统，流体微组件与微系统，生物医学微器件，微化学分析系统，无线通信微器件，以及电源与能量收集微器件和纳机电系统等。

会议采用单一会场形式，近年每届吸引700余名参会者、800余篇论文摘要投稿，并安排200余篇论文以口头报告与海报形式交流；本届进一步引入产业元素，以拓展 MEMS 在多种应用场景中的影响。